晶圓氮?dú)獗Wo(hù)柜是一種專門用于存儲晶圓的設(shè)備,其主要功能和特點如下:

主要功能

提供惰性氣氛:

防止氧化:氮?dú)馐且环N惰性氣體,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,不易與其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。在氮?dú)夤?/a>中,高純度的氮?dú)饽軌蛴行Ц艚^晶圓與外界空氣的接觸,減少晶圓表面的氧化。氮?dú)夤駜?nèi)的氮?dú)饧兌韧ǔR筮_(dá)到99.999%以上,以確保晶圓芯片在存儲過程中不會受到氧化和污染。

減少化學(xué)反應(yīng):氮?dú)夤駜?nèi)充滿純凈的氮?dú)?,減少了氧氣和其他有害氣體的存在,從而防止晶圓與其他材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),保護(hù)晶圓的完整性。

濕度控制:

低濕度環(huán)境:氮?dú)夤駜?nèi)的濕度通常能夠控制在10%RH以下,甚至更低。低濕度環(huán)境能夠有效降低晶圓表面的水分含量,防止水分對晶圓的氧化和腐蝕,保持晶圓的穩(wěn)定性和可靠性。

自動調(diào)節(jié):氮?dú)夤駪?yīng)配備精確的濕度傳感器和控制系統(tǒng),能夠根據(jù)設(shè)定的濕度值自動調(diào)節(jié)氮?dú)饬髁炕驖穸日{(diào)節(jié)裝置,將柜內(nèi)濕度控制在合適的范圍內(nèi)(如1%-60%RH)。

保持潔凈環(huán)境:

無塵環(huán)境:氮?dú)夤衲軌蛱峁┮粋€無塵的環(huán)境,防止空氣中的微粒和污染物對晶圓造成污染。這對于保證晶圓的純凈度和質(zhì)量至關(guān)重要。

高效過濾:氮?dú)夤裢ǔE鋫涓咝н^濾器,以確保柜內(nèi)空氣的潔凈度達(dá)到晶圓存儲的要求。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造:

存儲晶圓:在半導(dǎo)體制造過程中,晶圓需要在多個工序之間進(jìn)行存儲和轉(zhuǎn)運(yùn)。氮?dú)夤裉峁┝艘粋€無塵、低濕度、低氧的環(huán)境,可以有效防止晶圓在存儲過程中受到氧化和污染,確保晶圓的質(zhì)量和穩(wěn)定性。

提高生產(chǎn)效率:氮?dú)夤衲軌蛱峁┓€(wěn)定的存儲環(huán)境,可以確保生產(chǎn)過程中的質(zhì)量穩(wěn)定,從而提高生產(chǎn)效率。

通信行業(yè):

保護(hù)高價值器件:通信系統(tǒng)中的半導(dǎo)體器件對環(huán)境要求極高,尤其是在高濕度和多塵的環(huán)境下。氮?dú)夤窨梢詾檫@些高價值半導(dǎo)體器件提供最佳的保護(hù),確保通信系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。

航空航天:

極端環(huán)境下的保護(hù):航空航天領(lǐng)域的電子產(chǎn)品需要在極端環(huán)境下保持高度的可靠性和穩(wěn)定性。氮?dú)夤衲軌驗檫@些設(shè)備提供最佳的保護(hù),確保其在各種環(huán)境下都能正常工作。

汽車電子:

提高可靠性和穩(wěn)定性:汽車電子設(shè)備需要在復(fù)雜的環(huán)境中運(yùn)行,氮?dú)夤窨梢詾檫@些設(shè)備提供穩(wěn)定的存儲環(huán)境,提高其可靠性和穩(wěn)定性,延長使用壽命。

產(chǎn)品容積 內(nèi)徑尺寸(MM) 外形尺寸(MM) 隔板數(shù)量 開門方式
98升 W446*D372*H598 W448*D400*H688 1 單開門
160升 W446*D422*H848 W448*D450*H1010 3 單開門
240升 W596*D372*H1148 W598*D400*H1310 3 上下雙開門
320升 W898*D422*H848 W900*D450*H1010 3 左右雙開門
435升 W898*D572*H848 W900*D600*H1010 3 左右雙開門
540升 W596*D682*H1298 W598*D710*H1465 3 上下雙開門
718升 W596*D682*H1723 W598*D710*H1910 5 上中下三開門
870升 W898*D572*H1698 W900*D600*H1890 5 四開門
1436升 W1198*D682*H1723 W1200*D710*H1910 5 四開門 / 六開門
濕度范圍 1% - 60% RH 可調(diào)節(jié) 顯示精度 溫度:±1℃ 濕度:±3%RH
進(jìn)氣壓力 0.2 - 0.4 MPa 節(jié)氮模組 多點供氣系統(tǒng),SMC節(jié)氮模組

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