氮?dú)饧兌龋旱獨(dú)饧兌刃柽_(dá)到99.99%以上，對(duì)于一些對(duì)環(huán)境要求極為苛刻的高端芯片制造，氮?dú)饧兌瓤赡苄枰_(dá)到99.999%甚至更高。

溫度控制：雖然部分氮?dú)夤癫恢苯诱{(diào)節(jié)溫度，但環(huán)境溫度應(yīng)保持在22±2℃，相對(duì)濕度40%-60%，以確保晶圓品質(zhì)。

密封性能：柜體密封性要高，確保外界空氣和污染物無法進(jìn)入。

潔凈度：氮?dú)夤駜?nèi)潔凈度應(yīng)達(dá)到ISO Class 5或更高。

材質(zhì)與結(jié)構(gòu)方面：

柜體材質(zhì)：優(yōu)先選擇304不銹鋼材質(zhì)，其潔凈度高、耐用性強(qiáng)，適合在百級(jí)或千級(jí)無塵室內(nèi)使用。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)：柜體應(yīng)采用加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，承重性能好，內(nèi)部無氮?dú)馑澜牵_保氮?dú)饩鶆蚍植肌?

開門方式：根據(jù)存儲(chǔ)需求選擇單開門、雙開門或多開門設(shè)計(jì)。

功能與智能化方面：

智能控制系統(tǒng)：配備微電腦智能控制系統(tǒng)，可設(shè)定濕度、自動(dòng)切斷氮?dú)夤?yīng)，節(jié)約氮?dú)狻?

多點(diǎn)供氣系統(tǒng)：通過多點(diǎn)供氣，確保柜內(nèi)氮?dú)夥植季鶆?，避免死點(diǎn)死角。

安全功能：具備氮?dú)庑孤﹫?bào)警、超壓保護(hù)、緊急停機(jī)等功能。

其他方面：

靜電防護(hù)：氮?dú)夤駪?yīng)具備良好的防靜電設(shè)計(jì)，避免靜電對(duì)晶圓造成損害。

定制化服務(wù)：根據(jù)存儲(chǔ)物品的尺寸和數(shù)量，選擇可定制隔板設(shè)計(jì)和尺寸的氮?dú)夤瘛?

晶圓存儲(chǔ)氮?dú)夤竦谋匾?/strong>