三清儀器雙倉獨(dú)立運(yùn)行潔凈烤箱MOL-2DS介紹

產(chǎn)品用途

MOL-2DS雙倉獨(dú)立運(yùn)行潔凈烤箱主要用于FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料的無塵烘干和固化,如BPO膠、PI膠、BCB膠的固化,以及IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)等的封裝后烘烤。此外,它還可用于電工產(chǎn)品、材料、零部件等在高溫潔凈和無氧環(huán)境中的干燥和老化試驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)

工作室尺寸:400mm(寬)×350mm(深)×500mm(高)。

總消耗功率:3KW。

潔凈度:Class 100(立方英尺內(nèi)≥0.5μm塵?!?00,立方米內(nèi)≥0.5μm塵?!?520)。

容積:140L。

溫度范圍:RT+20℃~+250℃。

升溫時(shí)間:30分鐘以內(nèi)(室溫~+250℃)。

溫度波動度:±0.5℃。

溫度均勻度:200℃時(shí)誤差為±3℃。

隔板:2層。

工作室材質(zhì):SUS304#不銹鋼。

外殼材質(zhì):SUS304#不銹鋼。

隔熱材料:玻璃棉。

加熱器:覆套式電熱器。

進(jìn)氣口:φ6mm(可接氮?dú)饣驖崈艨諝猓?

出氣口:φ5mm自動開啟排風(fēng)門。

溫度調(diào)節(jié)方式:PID控制方式。

溫度運(yùn)轉(zhuǎn)方式:定值運(yùn)轉(zhuǎn),程序運(yùn)轉(zhuǎn)。

溫度設(shè)定范圍:0~+250℃。

溫度設(shè)定方式:數(shù)字式。

溫度顯示方式:LED數(shù)字顯示。

溫度傳感元件:K型熱電偶。

安全保護(hù)裝置:包括輸入斷線檢測功能、上限溫度過熱報(bào)警功能、蜂鳴器報(bào)警功能、自動溫度過熱防止功能、自動診斷功能。

定時(shí)功能:0.1~999.9H。

設(shè)備特點(diǎn)

高潔凈度:采用耐高溫高效過濾器(H.E.P.A過濾器),過濾等級可達(dá)Class 100。

無氧環(huán)境:通過充入氮?dú)饨档拖鋬?nèi)氧氣含量,含氧量可控制在100PPM以下。

溫度控制精準(zhǔn):溫度波動度小,控制精度高。

雙腔體設(shè)計(jì):上下兩箱獨(dú)立控制,可同時(shí)進(jìn)行不同工藝的烘烤。

結(jié)構(gòu)與材質(zhì):內(nèi)膽采用SUS304鏡面不銹鋼板,外壁采用1.5mm厚度A3冷軋鋼板,靜電噴塑。

應(yīng)用場景

該設(shè)備廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。它特別適合對潔凈度要求極高的工藝,如Class 100級別的無塵環(huán)境。

安全保護(hù)措施

漏電斷路器。

控制線路保險(xiǎn)絲裝置。

超溫防止保護(hù)裝置。

總結(jié)

MOL-2DS雙倉獨(dú)立運(yùn)行潔凈烤箱以其高潔凈度、無氧環(huán)境、精準(zhǔn)的溫度控制和靈活的雙腔體設(shè)計(jì),滿足了多種高精度工藝需求,是半導(dǎo)體、電子元件制造等領(lǐng)域不可或缺的設(shè)備。