濕度控制與氮?dú)夤?jié)約功能

濕度控制范圍：氮?dú)夤駪?yīng)能將濕度精確控制在1%-60% RH范圍內(nèi)。

智能控制系統(tǒng)：配備微電腦智能控制系統(tǒng)，當(dāng)濕度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切斷氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)濕度超過(guò)設(shè)定值時(shí)，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)恢復(fù)供氣。相比傳統(tǒng)直充氮?dú)鈾C(jī)型，這種設(shè)計(jì)可節(jié)約70%的氮?dú)庀摹?

多點(diǎn)供氣系統(tǒng)

氮?dú)馔ㄟ^(guò)多個(gè)小孔均勻分布到柜內(nèi)，避免單點(diǎn)供氣產(chǎn)生的死角，確保氮?dú)夥植季鶆颉?

節(jié)能設(shè)計(jì)

低能耗：部分氮?dú)夤癫捎玫湍芎脑O(shè)計(jì)，功率僅為8W。

智能休眠模式：內(nèi)置智能休眠技術(shù)，進(jìn)一步降低能耗。

其他技術(shù)參數(shù)

氮?dú)饧兌龋旱獨(dú)饧兌刃柽_(dá)到99.99%以上，以防止晶圓氧化。

溫度控制：雖然部分氮?dú)夤癫恢苯诱{(diào)節(jié)溫度，但建議環(huán)境溫度保持在22±2℃，相對(duì)濕度40%-60%。

潔凈度：柜內(nèi)潔凈度應(yīng)達(dá)到ISO Class 5或更高。

密封性能：柜體密封性要高，確保外界空氣和污染物無(wú)法進(jìn)入。

材質(zhì)與結(jié)構(gòu)

柜體材質(zhì)：優(yōu)先選擇304不銹鋼材質(zhì)，適合在百級(jí)或千級(jí)無(wú)塵室內(nèi)使用。

承重與結(jié)構(gòu)：采用加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，承重性能好，內(nèi)部無(wú)氮?dú)馑澜恰?

安全與監(jiān)控功能

安全功能：具備氮?dú)庑孤﹫?bào)警、超壓保護(hù)、緊急停機(jī)等功能。

聯(lián)網(wǎng)監(jiān)控：部分氮?dú)夤裰С致?lián)網(wǎng)監(jiān)控，通過(guò)以太網(wǎng)接口實(shí)時(shí)讀取溫濕度及含氧量數(shù)據(jù)。

定制化與擴(kuò)展性

定制化服務(wù)：可根據(jù)存儲(chǔ)物品的尺寸和數(shù)量，選擇可定制隔板設(shè)計(jì)和尺寸的氮?dú)夤瘛?

系統(tǒng)升級(jí)：部分型號(hào)支持未來(lái)升級(jí)，如節(jié)氮除濕模組、自制氮?dú)庋b置等。

其他節(jié)能設(shè)計(jì)

快速降濕功能：部分氮?dú)夤窬邆淇焖俳禎窆δ埽茉跀?shù)分鐘內(nèi)將濕度降到設(shè)定值，特別適合頻繁開(kāi)關(guān)門(mén)的作業(yè)場(chǎng)所。

防靜電設(shè)計(jì)：防靜電機(jī)型表面處理采用防靜電烤漆，靜電阻值在10^6^-10^9^歐姆之間。

通過(guò)以上功能和技術(shù)參數(shù)，半導(dǎo)體FAB工廠可以顯著降低氮?dú)庀?，同時(shí)確保存儲(chǔ)環(huán)境的穩(wěn)定性和安全性。