功能與控制精度

普通氮?dú)夤瘢褐饕糜谝话惴莱?、防氧化需求，通過(guò)持續(xù)充入氮?dú)庵脫Q柜內(nèi)空氣，達(dá)到防潮、防氧化的效果。

晶圓FAB工廠(chǎng)氮?dú)夤瘢簩?zhuān)為半導(dǎo)體晶圓存儲(chǔ)設(shè)計(jì)，具備更高的濕度控制精度（1%-60% RH），能夠快速將濕度降至設(shè)定值，并通過(guò)智能控制系統(tǒng)自動(dòng)充氮和停止供氣，顯著節(jié)約氮?dú)狻?

技術(shù)參數(shù)

普通氮?dú)夤瘢和ǔＥ鋫淞髁坑?jì)手動(dòng)調(diào)節(jié)氮?dú)饬髁?，濕度控制范圍較寬（一般為10%-60% RH），精度相對(duì)較低。

晶圓FAB工廠(chǎng)氮?dú)夤瘢号鋫湮㈦娔X智能控制系統(tǒng)，濕度控制精度可達(dá)±3% RH，溫度顯示范圍為-9℃至99℃，濕度和溫度獨(dú)立顯示。

材質(zhì)與結(jié)構(gòu)

普通氮?dú)夤瘢翰馁|(zhì)通常為不銹鋼或烤漆鋼板，注重密封性和承重性。

晶圓FAB工廠(chǎng)氮?dú)夤瘢翰捎?.2mm優(yōu)質(zhì)鋼板，加強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，內(nèi)外表面噴塑處理，防靜電型號(hào)的靜電阻值在10^6^-10^9^歐姆之間，符合ESD行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

節(jié)能與成本

普通氮?dú)夤瘢阂揽苛髁坑?jì)控制氮?dú)饬髁?，氮?dú)庀南鄬?duì)較高。

晶圓FAB工廠(chǎng)氮?dú)夤瘢和ㄟ^(guò)智能控制系統(tǒng)，相比普通氮?dú)夤窨晒?jié)約80%以上的氮?dú)獬杀尽?

應(yīng)用場(chǎng)景

普通氮?dú)夤瘢簭V泛應(yīng)用于電子元件、實(shí)驗(yàn)室耗材、文物保存等領(lǐng)域，主要滿(mǎn)足一般的防潮、防氧化需求。

晶圓FAB工廠(chǎng)氮?dú)夤瘢簩?zhuān)用于半導(dǎo)體晶圓存儲(chǔ)，確保晶圓在超低濕、無(wú)氧環(huán)境下安全存儲(chǔ)，防止氧化和受潮。

附加功能

普通氮?dú)夤瘢和ǔＥ鋫浠镜牧髁坑?jì)和密封門(mén)。