提供惰性氣氛：

防止氧化：半導(dǎo)體芯片的制造需要在特定的環(huán)境中進(jìn)行，氮?dú)饪梢蕴峁┮粋€(gè)干燥、無(wú)塵、無(wú)氧的環(huán)境，以防止芯片在制造過(guò)程中受到氧化。例如，在晶圓存儲(chǔ)柜中，通過(guò)氮?dú)馓畛溲b置將晶圓傳送盒內(nèi)的氧氣和水汽排出，同時(shí)使晶圓傳送盒內(nèi)充滿干燥的氮?dú)?，避免在晶圓表面生成氧化物，提高了晶圓的良品率。

保護(hù)石墨舟：石墨舟在空氣中容易與氧氣發(fā)生反應(yīng)，尤其是在高溫處理后，表面可能更為敏感。石墨舟氮?dú)夤裢ㄟ^(guò)充入氮?dú)鈦?lái)降低柜內(nèi)氧氣濃度，防止石墨舟表面氧化，保持其導(dǎo)電性和熱穩(wěn)定性。

保護(hù)存儲(chǔ)環(huán)境：

防潮防濕：氮?dú)夤窨梢詣?chuàng)造一個(gè)干燥的環(huán)境，避免濕氣對(duì)半導(dǎo)體器件的影響，從而保護(hù)其不被潮濕環(huán)境影響。例如，半導(dǎo)體氮?dú)夤裢ㄟ^(guò)將氮?dú)饧訅撼淙牍耋w，創(chuàng)造出一種低氧、低濕度、低污染的環(huán)境，從而保護(hù)半導(dǎo)體等精密電子元件免受濕度和污染的影響。

防靜電：氮?dú)夤竦闹黧w材料通常采用防靜電噴涂，可以有效防止靜電對(duì)半導(dǎo)體器件的損害。

提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量：

延長(zhǎng)使用壽命：在低氧、低濕度、低污染的環(huán)境下，半導(dǎo)體的氧化和腐蝕速度會(huì)減緩，從而延長(zhǎng)其使用壽命。

提高良品率：通過(guò)氮?dú)夤裉峁┑姆€(wěn)定環(huán)境，可以減少由于濕度和污染導(dǎo)致的故障，提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率。

節(jié)能降耗：氮?dú)夤癫捎孟冗M(jìn)的節(jié)能技術(shù)，能夠有效地降低能源消耗，同時(shí)減少對(duì)環(huán)境的影響。