蘇州三清儀器有限公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體晶圓用不銹鋼潔凈氮氣柜具有以下特點和優(yōu)勢：

產(chǎn)品特點

潔凈與防氧化：

采用優(yōu)質(zhì)SUS304雙鏡面不銹鋼材質(zhì)，自身不產(chǎn)塵，潔凈等級高。

氮氣柜通過充入高純度氮氣，降低內(nèi)部濕度和氧含量，有效防止晶圓氧化。

內(nèi)部配備高潔凈過濾器，確保氮氣的潔凈度。

氮氣節(jié)約功能：

智能供氮控制系統(tǒng)可根據(jù)設(shè)定的濕度值自動控制氮氣的供應(yīng)，當(dāng)濕度達(dá)到設(shè)定值時自動切斷氮氣，超過設(shè)定值時自動開啟。

多點供氣系統(tǒng)確保氮氣分布均勻，避免氣體過沖對樣品造成破壞。

安全與便捷性：

配備聲光報警系統(tǒng)、斷電后自動打開氮氣供應(yīng)功能，確保樣品在斷電時仍能得到保護。

柜體設(shè)計包括高強度鋼化玻璃觀察窗、平面加壓把手、防靜電萬向腳輪等，方便移動和定位。

智能化控制：

支持觸摸屏或電子鍵盤操作，具備氮氣濃度、溫濕度監(jiān)測、報警提示等功能。

可選配USB溫濕度信息傳輸系統(tǒng)、RS485通信接口等。

應(yīng)用場景：

適用于半導(dǎo)體晶圓、芯片、光罩、石墨盤等高精密材料的存儲。

適合在千級或百級無塵室中使用，確保晶圓在存儲過程中免受氧化和污染。

定制化服務(wù)：

可根據(jù)客戶需求定制不同尺寸和容量的氮氣柜，如12寸CASSETTE存放需求。

三清儀器的氮氣柜憑借其高潔凈度、氮氣節(jié)約功能和智能化控制系統(tǒng)，成為半導(dǎo)體行業(yè)存儲晶圓的理想選擇。