三清儀器獨立雙芯雙倉 MOL-2DS 百級 ISO Class 5 標(biāo)準(zhǔn)潔凈烤箱

產(chǎn)品定位與核心特點

MOL-2DS 是蘇州三清儀器專為半導(dǎo)體、顯示面板、精密電子等高端制造領(lǐng)域設(shè)計的雙腔體百級潔凈烘箱，采用獨特的 "雙芯雙倉" 獨立控制系統(tǒng)，可同時處理兩種不同工藝需求的材料，大幅提升生產(chǎn)效率與設(shè)備利用率。

核心特點：

雙芯雙倉獨立控制：上下兩個腔體各自配備獨立的加熱、控溫、送風(fēng)系統(tǒng)，可同時運(yùn)行不同溫度、不同工藝的烘烤任務(wù)，互不干擾

百級潔凈環(huán)境：達(dá)到 ISO Class 5 (美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) Class 100) 潔凈等級，每立方米空氣中≥0.5μm 顆粒數(shù)≤3,520 個，確保精密產(chǎn)品不受污染

高效過濾系統(tǒng)：采用耐高溫 H13 級 HEPA 過濾器，過濾效率達(dá) 99.997%，持續(xù)提供無塵環(huán)境

防氧化保護(hù)：可選配氮氣充入系統(tǒng)，控制箱內(nèi)氧含量低至 10ppm 以下，特別適合易氧化材料的烘烤

獨立雙芯雙倉技術(shù)詳解

雙倉結(jié)構(gòu)設(shè)計

上下兩個完全獨立的腔體，各自擁有獨立的加熱元件、風(fēng)機(jī)、過濾器和控制系統(tǒng)

中間采用隔熱密封層完全隔離，避免兩倉間熱量傳導(dǎo)和氣體交叉污染

每個腔體均配備獨立的進(jìn)氣 / 排氣口，可單獨控制氣體流量和換氣次數(shù)

雙芯控制系統(tǒng)

搭載兩套獨立的PLC 智能控制系統(tǒng)，可分別設(shè)置不同的溫度曲線和工藝參數(shù)

每個腔體可獨立編程18 段溫度曲線，滿足復(fù)雜工藝需求

具備PID 自整定功能，確保溫度控制精確穩(wěn)定

配置7 英寸彩色觸摸屏，可實時監(jiān)控各倉溫度、運(yùn)行狀態(tài)和報警信息

技術(shù)優(yōu)勢

生產(chǎn)效率倍增：一次可處理兩種不同產(chǎn)品，產(chǎn)能相當(dāng)于兩臺單倉烤箱，節(jié)省 50% 空間和能耗

工藝靈活性：滿足不同客戶、不同批次產(chǎn)品的差異化工藝需求，減少設(shè)備投資

可靠性提升：一套系統(tǒng)故障不影響另一套正常運(yùn)行，關(guān)鍵部件采用冗余設(shè)計

節(jié)能降耗：根據(jù)生產(chǎn)需求可單獨使用一個腔體，降低能耗

與普通工業(yè)烤箱對比

潔凈度：普通烤箱無過濾系統(tǒng)，顆粒污染嚴(yán)重，不適合半導(dǎo)體等精密制造

溫度控制：MOL-2DS 控溫精度達(dá) ±0.5℃，均勻性≤±3℃，普通烤箱通常為 ±2℃和 ±5℃以上

防氧化：MOL-2DS 可選配氮氣保護(hù)，氧含量可控制在 10ppm 以下，普通烤箱無此功能

密封性：MOL-2DS 采用硅橡膠耐高溫密封，氣密性好，普通烤箱密封性能差

選型建議

選擇 MOL-2DS 的情況：

同時生產(chǎn)多種不同工藝要求的產(chǎn)品

場地空間有限但產(chǎn)能需求高

對潔凈度和溫度均勻性要求極高

需要防止產(chǎn)品氧化，如半導(dǎo)體、高端電子元件生產(chǎn)

根據(jù)工藝需求選擇配置：

標(biāo)準(zhǔn)型：室溫～250℃，普通百級潔凈需求

高溫型：室溫～300℃/400℃，適用于特殊材料固化

氮氣型：增加氮氣充入系統(tǒng)，氧含量可控制在 10ppm 以下，適合易氧化材料

總結(jié)

三清儀器 MOL-2DS 獨立雙芯雙倉百級 ISO Class 5 標(biāo)準(zhǔn)無塵潔凈烤箱是一款專為高端制造業(yè)設(shè)計的精密烘烤設(shè)備，憑借雙芯雙倉獨立控制和百級潔凈環(huán)境兩大核心優(yōu)勢，為半導(dǎo)體、顯示面板、光學(xué)元件等行業(yè)提供了高效、可靠、靈活的烘烤解決方案。

與傳統(tǒng)單倉烘箱相比，MOL-2DS 不僅提升了生產(chǎn)效率和空間利用率，更通過獨立控制系統(tǒng)實現(xiàn)了多種工藝并行處理，是現(xiàn)代精密制造領(lǐng)域提升產(chǎn)能、降低成本的理想選擇。