關(guān)鍵要求：標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備必須在校準(zhǔn)有效期內(nèi)，且具備計(jì)量溯源證書(shū)。

被測(cè)氮?dú)夤駵?zhǔn)備

清空柜內(nèi)物品（或放置與實(shí)際使用一致的模擬負(fù)載）

檢查門(mén)體密封條、氮?dú)饨涌诿芊庑裕_保無(wú)泄漏

連接99.99% 以上高純氮?dú)庠?，確認(rèn)供氣正常

通電預(yù)運(yùn)行2~4 小時(shí)，使設(shè)備進(jìn)入穩(wěn)定運(yùn)行狀態(tài)

檢查氮?dú)夤褡詭穸葌鞲衅魑恢?，避免測(cè)試時(shí)遮擋

環(huán)境條件控制

環(huán)境溫度：20℃±5℃，避免陽(yáng)光直射、氣流干擾

環(huán)境濕度：≤70% RH，防止外界濕度影響柜內(nèi)穩(wěn)定性

氮?dú)鈮毫Γ悍€(wěn)定在0.2~0.4MPa，確保供氣均勻

氮?dú)夤襁\(yùn)行參數(shù)設(shè)定

按使用需求設(shè)定 3 個(gè)典型濕度值（如 5% RH、20% RH、40% RH），覆蓋常用濕度區(qū)間

設(shè)定完成后，等待柜內(nèi)濕度達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)（30~60 分鐘，以顯示值波動(dòng)≤±1% RH 為準(zhǔn)）

數(shù)據(jù)采集與記錄

每個(gè)設(shè)定值下，同步記錄：

氮?dú)夤褡詭穸蕊@示儀示值（連續(xù) 3 次，間隔 10 分鐘）

標(biāo)準(zhǔn)濕度設(shè)備在各測(cè)試點(diǎn)的測(cè)量值（同步 3 次，間隔 10 分鐘）

記錄內(nèi)容應(yīng)包括：環(huán)境溫濕度、氮?dú)鈮毫Αy(cè)試時(shí)間、測(cè)試人員等信息

數(shù)據(jù)處理與比對(duì)判定

計(jì)算平均值：分別計(jì)算每個(gè)測(cè)試點(diǎn)的顯示平均值和標(biāo)準(zhǔn)平均值

一致性判定：

所有測(cè)試點(diǎn)示值誤差絕對(duì)值≤±3%RH（SKN 系列標(biāo)稱(chēng)精度），判定為合格

若誤差超差，需分析原因（如密封性、氮?dú)饧兌取鞲衅髌频龋┎⒅匦聹y(cè)試

計(jì)量比對(duì)注意事項(xiàng)

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備與溯源性

必須使用經(jīng)法定計(jì)量機(jī)構(gòu)校準(zhǔn)合格的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，嚴(yán)禁使用超期或無(wú)證書(shū)設(shè)備

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備與被測(cè)傳感器需進(jìn)行熱平衡（放置時(shí)間≥30 分鐘），避免溫度差異導(dǎo)致誤差

氮?dú)庀到y(tǒng)與密封性

測(cè)試前檢查氮?dú)夤艿朗欠袂鍧?，避免油污、雜質(zhì)影響濕度測(cè)量

測(cè)試過(guò)程中禁止頻繁開(kāi)門(mén)，每次開(kāi)門(mén)時(shí)間≤1 分鐘，防止?jié)穸韧蛔?

若發(fā)現(xiàn)密封性問(wèn)題（如密封條老化），需先更換再進(jìn)行比對(duì)測(cè)試

低濕度環(huán)境特殊要求

低濕（<10% RH）比對(duì)時(shí)，優(yōu)先使用露點(diǎn)儀測(cè)量，避免相對(duì)濕度測(cè)量誤差放大

低濕狀態(tài)下穩(wěn)定時(shí)間需延長(zhǎng)至60~90 分鐘，因氮?dú)庵脫Q低濕空氣需要更長(zhǎng)時(shí)間

標(biāo)準(zhǔn)傳感器需具備低濕測(cè)量能力，避免超出量程導(dǎo)致數(shù)據(jù)無(wú)效

安全操作規(guī)范

氮?dú)鉃槎栊詺怏w，測(cè)試區(qū)域需保持通風(fēng)，防止缺氧風(fēng)險(xiǎn)

氮?dú)鈮毫φ{(diào)整需緩慢進(jìn)行，避免壓力過(guò)高損壞設(shè)備

測(cè)試結(jié)束后，關(guān)閉氮?dú)庠?，釋放柜?nèi)壓力，再進(jìn)行設(shè)備清潔

通過(guò)以上規(guī)范的計(jì)量比對(duì)方法和嚴(yán)格的注意事項(xiàng)，可確保三清儀器 SKN 系列氮?dú)夤駶穸葴y(cè)量的準(zhǔn)確性和可靠性，為精密電子元器件、半導(dǎo)體材料等存儲(chǔ)提供有效保障。